第7世代マスク基板反転装置

開発プロセス
エムアルファ技研は、柔軟な発想と迅速な対応でオリジナルロボットを短納期で確実に製作致します。
このプロジェクトでは、‘04年8月に最初の御問合わせを頂き、新規ロボットの開発設計と共にオリジナルの多機種対応基板ハンドの開発・設計を並行して進め、‘04年10月初旬に完成。
その後、社内にて試運転及び厳重な設計内容の検証テストを実施し、10月下旬(約3ヶ月後)に納入いたしました。

計画段階での問題点
大型化するガラス基板に対応する為、マスク基板も大型化へ移行せざるを得ない状況の中、「多機種のサイズに対応するマスク基板反転/検査ロボット」の開発をユーザ様より頂きました。
本件の問題点は、
●最大重量70Kgの重量物搬送
●550〜1500mmのマスクサイズに対応
●反転時の位置精度
の3つでした。この問題点を満足する様エムアルファ技研は、特殊ハンドを付加した特型2軸ロボットという新構成で、これらの問題に挑戦しました。

製作効果
大型化するマスク基板に対応する反転装置が現存しなかった為、本ロボットにより全自動ラインの構築が可能となりました。これは、基板幅550〜1500mmに対応するマルチハンドと大型反転軸よるもので、反転装置機能と目視検査装置としての集約化を実現し、設備コストとランニングコストの低減に大きく貢献しています。


 仕様諸元



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