第7世代マスク基板搬送ロボット(GRH型)

開発プロセス
エムアルファ技研は、柔軟な発想と迅速な対応でオリジナルロボットを短納期で確実に製作致します。
このプロジェクトでは、‘03年10月末に最初の御問合わせを頂き、新規ロボットの開発設計と共にオリジナルの多機種対応CFRPハンドの開発・設計を並行して進め、‘04年1月末に完成。
その後、社内にて試運転及び厳重な設計内容の検証テストを実施し、2月初旬(約3ヶ月後)に納入いたしました。

計画段階での問題点
大型化するガラス基板に対応する為、マスク基板も大型化へ移行せざるを得ない状況の中、「多機種のサイズに対応するマスク基板搬送ロボット」の開発をユーザ様より頂きました。本件の問題点は、
(1)最大重量60Kgの重量物搬送
(2)15種類のマスクサイズに対応
の2つでした。この問題点を満足する汎用基板搬送ロボットは、現状存在しないと言うユーザ様の悩みに応えエムアルファ技研は、特殊ハンドを付加した7軸GRPム型ロボットという新構成で、これらの問題に挑戦しました。

製作効果
大型のマスク基板を装置へ搬送する場合は、人手による台車を利用したマニュアル搬送に頼っていましたが、本ロボットにより全自動ラインの構築が可能となりました。これは、基板幅500〜1500mmに対応するマルチハンドと60Kg搬送の強力ロボット、9M移動の大型走行軸の組合せによるもので、マスク製造設備の無人化/集約化を実現し、設備コストとランニングコストの低減に大きく貢献しています。


 仕様



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